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高精密蚀刻工艺水平的反映

高精密蚀刻工艺水平的反映

发布日期:2018/10/8 11:13:43

  在进行高精密蚀刻工艺的设计时,首先要解决的问题是在现有条件下能做到什么样的水平,对于高精密蚀刻来讲,这个水平主要反映在以下几个方面.

  (1)蚀刻后的表面光洁度.一般情况下都要求被蚀刻后的表面光滑平整,蚀刻后的光洁度主要受材料晶粒的影响及蚀刻体系的影响.比如在铝合金蚀刻中,碱性蚀刻后表面光洁度明显要高于三氯化铁、盐酸所组成的酸性蚀刻液蚀刻后的光洁度.同时在蚀刻液中加入添加物质也能影响到金属表面的光洁度.

  (2)图形的准确度.图形准确度主要反映在图文转移的精度和蚀刻精度,蚀刻精度就涉及到一个侧蚀率的问题,影响测蚀率的因素:a受材料自身及材料晶粒组织的影响,在高精密蚀刻中,铜、钢、镍等金属材料的侧蚀率小、蚀刻精度高,铝及合金的侧蚀率大、蚀刻精度较低,同种材料如果结晶粗大显然不利于达到高精度的图文蚀刻效果;b也受蚀刻体系的影响,蚀刻体系主要是指采用什么样的蚀刻剂进行蚀刻,当然也包括在这些蚀刻剂所组成的溶液中加入的添加物质,对于蚀刻精度,添加物质的作用比蚀刻剂所采用的酸或碱影响更大;c还要受到蚀刻方式的影响,不同的蚀刻方式所产生的蚀刻速度是有很大差别的,显然使用喷淋式蚀刻将有更快的蚀刻速度,也更容易做到较高的蚀刻精度.

  当知道了所能达到的高精密蚀刻水平,这时还不能进行蚀刻工艺的设计,还得明白客户的要求,这个要求十分在所能达到的水平范围内,如果不能,能否通过工艺的合理设计来达到.如果这些都明白后,这时才可以着手进行高精密蚀刻工艺的设计工作.

  就算知道了某一金属的蚀刻原理及方法,也未必能进行高精密蚀刻,在现实中这类事情时有发生,你知道其加工的全部方法及过程但加工出来的产品离设计的要求怎么做都有一段距离.在这里经验起着很重要的作用,如果仅有经验,你无法开展新的工作,对于新的材料适应能力不够,甚至于根本就做不到;反之,如果没有经验,也学不会在工作中积累起足够的经验,那么你加工的产品质量会很不稳定,甚至于加工不出合格产品来.


文章关键词:高精密蚀刻
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